光測長器、光ディスク原盤露光装置、及び加工装置

Optical length-measurement device, exposure apparatus for optical disk master and its processing system

Abstract

【課題】 光測長器で円筒面など一方向に曲率を有する曲面の変位測定を行う場合に、被測定面に存在する微細な凹凸の影響を受けずに、精度よく測定を行うことができるようにする。 【解決手段】 レーザー光源1から出射するビームのスポット径を変更するスポット径調整手段を備えている。したがって、干渉計2から出射され、対物レンズ光学系4により集光される集光ビームは、被測定物体5の表面に大きさ可変な集光スポットPとして照射される。これにより、集光スポットPの大きさを集光スポットPが被測定物体を走査する際に横断する傷等(符号Q)に対し十分大きく設定することで、変位測定信号の乱れを排除できる。 【選択図】 図1
<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To enable a measurement to be carried out precisely without being affected by fine unevenness existing on a surface to be measured, in the case of measuring a displacement of a curved surface such as a cylindrical surface or the like having a curvature in a certain direction by using an optical length-measurement device. <P>SOLUTION: A spot diameter adjusting means is provided which changes a spot diameter of a beam emitted from a laser light source 1. Consequently, a condensed beam which is emitted from an interferometer 2 and condensed by an objective lens system 4, is projected on the surface of an object to be measured 5 as a size-adjustable condensed light spot P. The size of the condensed light spot P is set large sufficiently to a flaw or the like (symbol Q) across which the condensed light spot P moves when the object to be measured is scanned, thereby preventing a displacement measuring signal from being disordered. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

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