Crucible for crystal growth

結晶育成用坩堝

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a crucible for crystal growth in which a crystal having a low dislocation density can be grown even when the crucible has a large diameter. <P>SOLUTION: The crucible 1 for crystal growth is made of boron nitride including a cylindrical top end 3 to mount a seed crystal and a cylindrical straight drum 5 formed over the top end to grow a crystal and having a larger diameter than the diameter of the top end. The thickness T1 of the top end and the thickness T2 of the straight drum satisfy the condition of 0.1 mm≤T2<T1≤5 mm, and the inner diameter D2 of the straight drum and the length L2 of the straight drum satisfy the condition of 100 mm<D2 and 2<L2/D2<5. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
【課題】大口径の坩堝であっても低転位密度の結晶を育成することができる結晶育成用坩堝を提供する。 【解決手段】結晶育成用坩堝1は、種結晶を設置するための円筒状の先端部3と、結晶を育成するために先端部の上方に形成されていて先端部の径より大きい径を有する円筒状の直胴部5とを含む窒化ほう素製坩堝であって、先端部の厚みT1と直胴部の厚みT2とは0.1mm≦T2<T1≦5mmの条件を満たし、直胴部の内径D2と直胴部の長さL2とは100mm<D2および2<L2/D2<5の条件を満たすことを特徴としている。 【選択図】図1

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    JP-2011507795-AMarch 10, 2011モーメンティブ パフォーマンス マテリアルズ インコーポレイテッド低熱伝導率低密度熱分解窒化ホウ素材料、製造方法およびそれから製造した物品